シルバコ TCAD 2018 半導体デバイス3次元CADソフト

3次元

3次元プロセス・シミュレータは、レイアウト・ドリブンの汎用1次元/2次元 /3次元プロセス・シミュレー タで、エッチング/デポジション、イオン注入、拡散、酸化の機能で構成されます。

2次元

プロセス・シミュレーション・フレームワーク。 Athenaフレームワークは、プロセス・シミュレーション・モジュールをシルバコのTCADインタラクティブ・ツールで構成する使いやすい環境に統合します。

Victory Mesh

Victory Meshは、新規の2次元および3次元構造のソリッド・モデリングを行うだけでなく、既存の2次元および3次元TCAD構造のメッシュ生成や細分化を行う強力な機能を提供します。

デバイス・シミュレーション
3次元
Victory Deviceは、4面体メッシュ・エンジンを使用して複雑な3次元形状を高速かつ高精度にシミュレートする3次元デバイス・シミュレータです。シリコン、2元/3元/4元 系材料のデバイスに対してDC、AC、過渡解析を実行できます。

2次元
Atlasは、デバイスの電気特性、光学特性、温度特性をシミュレートする、デバイス・エンジニアのためのフレームワークです。半導体ベースの広範なテクノロジについて、DC、AC、および過渡特性を2次元/3次元で解析できます。

その他のツール
インタラクティブ・ツール
シルバコの1次元/2次元/3次元TCADシミュレータに対してインタラクティブGUIベースのプリ/ポスト処理の機能を備えたアプリケーション・パッケージです。

Virtual Wafer Fab
VWFはDOE(実験計画)と最適化実験を行うためのソフトウェアです。スプリット・ロット実験は、あらかじめ決められたさまざまな解析手法で使用できます。